PHS平面靶标是采集幅面≤300mm时扫描仪标定的标准靶标。其采用主流的光学玻璃以及先进的光刻工艺保证三维扫描仪的校准精度。可调式靶标支架采用特殊工艺,保证靶标的使用以及确保靶标不产生形变影响精度。
| 工作电压 | 3V |
| 工作电流 | 1A |
| 工作温度 | -10~45℃ |
| 外形尺寸 | 265mm×240mm×110mm |
| 靶标材质 | 低热胀材质标定靶 |
| 适用幅面 | ≤300mm |
| 靶面格数 | 33 |
| 标定精度 | 0.001mm |
| 靶标单元格 | 覆盖式角点逐格校准 |
1. 定制化高精度光学玻璃,保证测量精度
2. 采用光刻工艺,确保图案边界清晰、完整、锐利
3. 适用于小幅面测量校准,精度控制保障高
4. 5姿态定点自主调节,方便快捷
1. 具备自动角点检测功能,无需复杂的点角点过程
2. 支持机器人自动标定功能,一键式操作
3. 光刻工艺,精度高,边界锐利,识别度好
4.专用仪器,靶标单元格逐格校准,覆盖式角点逐格校准技术














沪公网安备31011502404119