nload="DrawImage（this, 260, 190）;CenterImage（this, 260, 190）" style="border:none;" /> 星级：无 点评：0 人气：195 发布时间：2011-07-12 产品分类：离散传感器,激光检测 品牌： 关键词：azbil山武,PBZ-CL007V,边缘检测传感器产品介绍：azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器,azbil PBZ-CL007V边缘检测传感器概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。
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概要PBZ激光传感器采用平行激光束和一个CMOS线性图像传感器专长检测薄膜、晶圆或玻璃基板的边缘位置。
FDN算法
高精度的边缘检测*1
针对检测面污垢会影响检测精度的课题，配置了线性图像传感器和光量衰减报警功能。
透明物体检测用算法
可稳定检测透明物体。
标准双通道输入控制器
可进行双检测值运算，减少布线工作量，节省空间。
RS-485通信（仅对应PBC-201VN2/PBC-203VN2） 可将数据传输至PLC及触摸界面。
安全性能
JIS 1级光束。不需要任何特别保护措施。
多功能
可忽略薄膜不规则部分的干扰消除功能*2
玻璃基板对准时倾斜度θ计算功能*3
通过位置变化检测功能可检测出玻璃基板上的缺口和裂痕*3
*1. 重复精度：PBZ-CL007V：±1 μmax.，PBZ-CL030H/V：±5 μmax.
*2. *于 PBC-201VN0/2
*3. *于 PBC-203VN2
测定内容| 控制器型号 | 边缘位置测定 （透明体或不透明体） | 遮光宽度测定 | 间隙测定 |
| 7 mm传感器头用PBC-201VN0 | ○ | ― | ― |
| 7 mm传感器头用PBC-201VN2 | ○ | ○ | ○ |
| 30 mm传感器头用PPBC-203VN2 | ○ | ― | ― |
重复精度 ±1 μm* — 准确检测出真实的边缘位置FDN算法是一种对于任意的工作距离（WD）都能准确地计算出真实的边缘位置的算法。 *PBZ-CL007V的重复精度为±1 μm，PBZ-CL030H/V的重复精度为±5 μ。检测条件请参照规格。
菲涅尔衍射
光射在刀片或薄膜等薄型物体边缘处会发生衍射。受光部衍射光的强度分布取决于受光器与薄型物体之间的距离（WD）。
不受检测面污垢引起的受光光量衰减的影响受光单元采用线性图像传感方式，不受检测面污垢的影响，实现高精度的检测。并且，配置了“光强度衰减报警功能”，到了维修时期便会发出警报。
传统方式（PD）
因遮光引起受光量的减少，使PD的线性输出发生变化。这种传统的PD方式，由于受光面污垢（或检测物透明度）造成受光光量衰减，使输出值发生变化。所以，为了防止污垢，需要进行空气吹扫。
本公司的线性图像传感方式
根据各像素的亮度信息，测出遮光宽度。即使受光光量衰减，只要线性图像传感器的入光量不变，边缘位置的输出值就不会变化。
干扰消除功能 不检测标签等凸起物，只检测薄膜的边缘。将当前的测定值与设定时间（输出延迟时间）前的数值进行比较，如果变化量超过了设定值（跳读设定值），则保持变化前的数值并将其模拟输出。
θ演算功能根据玻璃边缘的位置变化，演算倾斜度θ后输出。测量范围：±3°。缺口检测功能（位置变化输出）设定位置变化时间（T）和位置变化量（L），如果变化量超过设定的倾斜度，进行数字（DO）输出。 应用检测晶圆的偏芯和缺口位置
能够稳定检测透明度高的玻璃晶圆或砷化镓晶圆。并且，由于采用了线性图像传感方式，因此还能越过视孔进行检测。
检测薄膜蜷曲
通过使用2对传感器探头计算传 更多内容请访问深圳市创丰仪器仪表有限公司 （http://www.lansea。。ｎｅｔ） （ 审核编辑：李晨辉 ）
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