5系的两种ATOS ScanBox型号中都采用性能的ATOS Triple Scan测量头。得益于自动精度标定，即使在测量大型部件时也能达到高精度。在整个测量期间，持续监控部件和测量头之间的相对位置，由此及时发现和排除环境影响的干扰。

5系设备设计巧妙，在一天之内即可完成组装和拆卸，并便于快速方便地将其运送到其他地点。

除了机器人和转动台外，还有系统各种模块中或模块上的整个控制、安全和功率电子等组成部分，这些系统模块的尺寸均为欧式托盘大小，可以很方便地使用托盘车进行搬运。

5108可用于检测尺寸至800 mm的部件。由于这款设备尺寸较小，生产涡轮机、扇叶、涡轮盘和压铸外壳等产品的制造商们常常选用这款产品。在检测翼型件时，可以记录小半径的位置和轮廓，其图像分辨率可高达每毫米20多个测量点。

5120可轻松测量尺寸至2000 mm的各类部件，这款产品主要应用于诸如汽车内部组件等大型部件。这款ATOS ScanBox也经常用于铸造和锻造应用，比如检测压铸件、砂锥和模型等。